Vakuumovn, det vil si i det spesifikke rommet til ovnskammeret, brukes vakuumsystemet (nøye sammensatt av vakuumpumpe, vakuummåleanordning, vakuumventil og andre komponenter) til å slippe ut deler av stoffene i ovnskammeret, slik at trykket i ovnskammeret er mindre enn et standard atmosfærisk trykk, og plassen i ovnskammeret brukes til å oppnå en vakuumtilstand, som er en vakuumovn.
En vakuumovn er en enhet som varmes opp i et vakuummiljø. Ovnskammeret føres til høyvakuumpumpesystemet i en ovn forseglet med et metall- eller kvartsglassdeksel. Vakuumgraden til ovnen kan nå 133×(10-2~10-4)Pa. Varmesystemet i ovnen kan varmes opp direkte ved elektrisk oppvarming av motstandsovnstråd (som wolframtråd), eller det kan varmes opp ved høyfrekvent induksjon. Maksimal temperatur kan nå rundt 3000 grader. Den brukes hovedsakelig til keramisk brenning, vakuumsmelting, avgassing og gløding av elektriske vakuumdeler, lodding av metalldeler og keramisk-metallforsegling.

