1200C PECVD-system med tre varmesoner
1200C PECVD-system med tre varmesoner

1200C PECVD-system med tre varmesoner

SK2-CVD-12TPB4 er en rørovn for PECVD-system, bestående av 300W eller 500W RF-strømforsyning, flerkanals presisjonsstrømningssystem, vakuumsystem og rørovn. Den ofte brukte temperaturen er 1100 grader Celsius eller lavere, og dens hovedkarakteristika er lav avsetningstemperatur, rask hastighet, god filmkvalitet, færre pinholes og mindre utsatt for sprekker. En ideell enhet for dyrking av nanotråder eller forberedelse av forskjellige tynne filmer ved hjelp av CVD-metoden.
Sende bookingforespørsel
Trekk

 

● Maks temperatur RT-1200 grad

● Splitt type ovn, du kan åpne ovnen.

● Kan introdusere mer enn 2 kanaler med gass, med en vakuumgrad på 10Pa ved hjelp av en mekanisk pumpe og en 500W RF-strømforsyning for å forbedre signalet.

● Høykvalitets isolasjonsmaterialer av aluminiumoksyd keramisk fiber

● Temperaturkontrollnøyaktighet ±1 grad

● Med overtemperaturalarmfunksjon

● Kjølevifte kan redusere temperaturen på huset

 

Modell

SK2-CVD-12TPB4

Dimensjoner: Standard varmesonelengde (mm)

440 mm

Dimensjoner: Standard rørdiameter (mm)

∮60 mm

Maks.temperatur

1200 grader, Kontinuerlig arbeidstemperatur 1100 grader.

Spenning (V)

220 1P

Type termoelement

K

Varmeelement

HRE Legeringsmotstandstråd

Temp.Presisjon

±1 grad

Oppvarmingshastighet

0-30 grader/min gratis justering

Kammermateriale

Bruker avansert høykvalitets aluminiumoksyd mikrokrystallinsk fibermateriale

Ovnsstruktur

Dobbeltlags luftkjølt struktur, overflatetemperatur er mindre enn 60 grader

Temperatur kontroller

Intelligent PID-temperaturkontrollinstrument, 30 programsegmenter, SSR-kontroll, PID-parameter selvinnstillingsfunksjon; program temperaturøkning, program varmekonservering, program kjøling

500W RF strømforsyning

Utgangseffekt: 5-500W ±1 grad

RF-frekvens: 13,56 MHz ±0,005 %

Reflektert effekt: opptil 100W

Match: Automatisk

RF-grensesnitt: 50Ω, N-type

Kjøling: luftkjøling

Strømforsyning: AC 208-240V, 50/60 HZ

4 gasskanals presisjonsstrømningssystem

1. Fullskala strømningshastighet (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10 l/min.

2. Ventiltype: Solenoldventil.

3. Ventilhvilestilling: Normalt lukket.

4. Differensialtrykk: (50-300)kpa

5. Trykkmotstand: 3mpa.

6. Driftstemperatur: 5-45 grader

7. Materialer: rustfritt stål 316L.

Vakuumsystem

5*10-3Pa

KF25 hurtigkobling, rustfri stålbelg, manuell klaffventil og flens, vakuumpumpe

Høyere vakuumsystemer kan også utstyres som tilleggsutstyr.

image001

VELKOMMEN OEM/ODM

 

Standard tilbehør

 

Termiske hansker|Digelkrok|Termoelement|Rørblokk|Brukerhåndbok |Verktøy|Vakuumpumpe| Kvartsrør |Flens |Tetningsring |10mm gasslange |Flensstøtte, Gasssystem, RF-strøm.

 

Valgfri

 

Ulike varmesone for ditt valg;

LCD-berøringsskjermkontroll for valg

RS485/USB-port for å koble til datamaskin for å velge.

 

Detaljbilde for CVD-PECVD

 

image003
500W RF strømforsyning
image005
Vakuumsystem
image007
4 gasskanals presisjonsstrømningssystem

 

applikasjon

 

Denne enheten brukes hovedsakelig til å dyrke nanotråder eller forberede forskjellige tynnfilmvekster ved hjelp av CVD-metoden.

 

Garanti

 

Ett års garanti og livslang teknisk støtte

Spesielle tips:

1. Forbruksvarer som varmeelement, kvartsrør, prøvedigel osv. er ikke innenfor garantiperioden.

2. Skader forårsaket av bruk av etsende gass og sur gass dekkes ikke av garantien.

 

Populære tags: 1200c tre varmesoner pecvd-system, Kina 1200c tre varmesoner pecvd-system produsenter, leverandører